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產(chǎn)品展示

EMMI和OBIRCH二合一系統(tǒng)TIVA

一 、漏電定位手段有三種

1、偵測(cè)光子(EMMI)

2、激光刺激偵測(cè)阻抗變化(TIVA&VBA)

3、偵測(cè)熱(Thermal)


EMMI和OBIRCH二合一系統(tǒng)TIVA

產(chǎn)品簡(jiǎn)介:

Semicaps是一家先進(jìn)的芯片漏電定位設(shè)備制造商,公司產(chǎn)品涵括正置、倒置、靜態(tài)、動(dòng)態(tài)各種應(yīng)用的機(jī)型,世界TOP50的半導(dǎo)體公司很多是他的客戶。在Lock in信號(hào)增強(qiáng)技術(shù)和SIL鏡頭(納米線寬偵測(cè))技術(shù)領(lǐng)域,位于行業(yè)前列。2013年Semicaps和儀準(zhǔn)合作正式進(jìn)入中國,憑借著產(chǎn)品的先進(jìn)性、合理的價(jià)格以及完善的售后服務(wù)體系,迅速得到中國廣大客戶的認(rèn)可。

具體規(guī)格如下:

Si探測(cè)器

采集晶片

硅基芯片

像素

1024  × 1024 pixel

像素尺寸

13 微米  × 13 微米

晶片尺寸

13.3毫米 × 13.3 毫米

噪音

6 electrons rms

冷卻方式

電制冷+水冷

探測(cè)器晶片低降溫

-70°C

冷卻時(shí)間

小于10分鐘(常溫至-70°C)

InGaAs探測(cè)器

采集晶片

銦砷化鎵晶片

像素

640  × 512 pixel

像素尺寸

20 微米 x 20 微米

晶片尺寸

12.8毫米 x 10.24 毫米

冷卻方式

電制冷+水冷

探測(cè)器晶片低降溫

-70°C

冷卻時(shí)間

小于10分鐘(常溫至-70°C)

Thermal探測(cè)器

晶片類型

MCT

像素

640  × 512 pixel

像素尺寸

15 微米

晶片尺寸

9.6 毫米 x 7.68 毫米

冷卻方式

Stirling cooled

探測(cè)器晶片低降溫

80k

TIVA模塊

激光部分

激光能量:500毫瓦
激光波長:1340納米
掃描像素:2048×2048 pixel
Laser Pulsing 功能:靈敏度提升9倍

電流源部分

配置Keithely2450規(guī)格如下:
電壓范圍:+-200V
電壓分辨率:500nV
電流范圍:小于等于1A
電流分辨率:10fA
也可以外接客戶B1500、B1505、4200等測(cè)試儀

主控臺(tái)

移動(dòng)方式

電腦+手搖桿雙控制

X-Y-Z移動(dòng)范圍

50*50*100 毫米

X-Y移動(dòng)解析度

0.1微米

Z移動(dòng)解析度

0.02微米

光學(xué)顯微鏡

品牌

Semicaps定制

目鏡

10X一對(duì)

物鏡

2.5x,5x,20x,HR50x(100x選配)

探針臺(tái)

尺寸

6、8、12寸單雙面探針臺(tái)可選

電壓范圍

3000V以下可選

電流范圍

直流10A以內(nèi);脈沖40A以內(nèi)可選

探針座移動(dòng)精度

0.7微米

減震臺(tái)

減震方式

大理石+減震氣囊雙防震系統(tǒng)

減震效果

97%@10Hz


SEMICAPS SOM 1100
微光顯微鏡

InGaAs 探測(cè)器

采集晶片

銦砷化鎵晶片

像素

640*512 pixel

像素尺寸

20 微米×20 微米

晶片尺寸

12.8 毫米 x 10.24 毫米

冷卻方式

電制冷+水冷

探測(cè)器晶片最*低降溫

-70°C

冷卻時(shí)間

小于 10 分鐘(常溫至-70°C)

TIVA 模塊

激光部分

激光脈沖能量:500mW
激光波長:1340 納米
掃描像素:2048*2048 pixel
Laser Pulsing 功能:靈敏度提升9倍
具備數(shù)字Lock-in功能

電流源部分

配置 Keithely2450 規(guī)格如下:
電壓范圍:+-200V
電壓分辨率:500nV
電流范圍:小于等于 1A
電流分辨率:10fA
也可以外接客戶 B1500、B1505、4200 等測(cè)試儀

主控臺(tái)

移動(dòng)方式

電腦+手搖桿雙控制

X-Y-Z 移動(dòng)范圍

50*50*100 毫米

X-Y 移動(dòng)解析度

0.1 微米

Z 移動(dòng)解析度

0.02 微米

光學(xué)顯微鏡

品牌

Semicaps 定制

目鏡

10X 一對(duì)

物鏡

2.5x,5x,20x,HR50x(100x 選配)

探針臺(tái)

尺寸

6、8、12 寸單雙面探針臺(tái)可選

電壓范圍

3000V 以下可選

電流范圍

直流 10A 以內(nèi);脈沖 40A 以內(nèi)可選

探針座移動(dòng)精度

0.7 微米

減震臺(tái)

減震方式

大理石+減震氣囊雙防震系統(tǒng)

減震效果

97%@10Hz

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