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產品展示

高壓探針臺HPW

● Failure analysis 集成電路失效分析? ? ? ? ? ?

● Wafer level reliability?晶圓可靠性認證

● Device characterization 元器件特性量測 ????

● Process modeling?塑性過程測試(材料特性分析)

● IC Process monitoring 制程監(jiān)控 ????????

● Package part probing IC封裝階段打線品質測試

● ESD&TDR testing ?ESD和TDR測試 ?????????????????????

● Microwave probing 微波量測(高頻)

● Solar太陽能領域檢測分析 ?????????????????????????????

● LED、OLED、LCD領域檢測分析


高壓探針臺HPW

參數列表如下:

項 目

性能指標

備注

可測圓片尺寸

4 ,6 ,8 ,12 inch


可測電壓

3KV;10KV


可測電流

10A(DC);100A(pluse)


X、Y工作臺

行程

X/Y:8inch x 8 inch

根據晶圓尺寸而定

分辨率

1μm


控制

進口導軌


CHUCK

平面度

≤10μm

背面需要加電極(可選)

晶圓固定方式

真空吸附,分檔控制

Chuck Z軸(可選)

行程

10mm


分辨率

1μm


Chuck θ軸(可選)

微調范圍

±7o (分辨率為0.1°)


Platen 平臺

材料

非拋光型不銹鋼+特種鋁合金


容量

6-8個DC針座或者4個RF針座


微調旋鈕

分辨率為1um
移動范圍為25mm
導軌式移動


升降

8mm行程的升降抬桿,可鎖定

重復度精度為±2um


上、下片

方式

手動


行程

90 mm


顯微鏡

配置

(1)體式顯微鏡
       目鏡:20X
       變倍范圍:0.75X-5X
       總放大倍數:15x-100x
       LED 光源照明

(2)金相顯微鏡

       目鏡:20x
       Zoom:1-2x
       物鏡:2x,10x,20x,50x
       總放大倍數:20x-1000x
       光纖光源系統

根據客戶測試參數要求而定

行程

X/Y:2 inch x 2inch (分辨率:1um)
    Z: 2inch


抬起功能

顯微鏡可抬起,便于切換鏡頭。抬起后可以鎖定,防止掉落。


屏蔽罩(可選)

L1350*W900*H1300mm


防震桌(可選)

W*D*H:1100*800*900mm


可選附件:

● 射頻測試探頭及電纜      ● 有源探頭      ● 低電流/電容模塊      ● 高壓模塊      ● 激光修復      ● 高清數字相機      ● 探針卡/封裝/PCB板夾具      ● Hot Chuck

兼容測試儀器:

● 各種型號示波器      ● 各種品牌型號的源表      ● 是德B1500、4155、4156      ● 泰克4200     ●各品牌的網絡分析儀

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