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產品展示

4寸探針臺PW-400

● Failure analysis 集成電路失效分析 ??????????

● Wafer level reliability?晶圓可靠性認證

● Device characterization 元器件特性量測 ????

● Process modeling?塑性過程測試(材料特性分析)

● IC Process monitoring 制程監(jiān)控 ????????

● Package part probing IC封裝階段打線品質測試

● ESD&TDR testing ?ESD和TDR測試 ?????????????????????

● Microwave probing 微波量測(高頻)

● Solar太陽能領域檢測分析 ?????????????????????????????

●LED、OLED、LCD領域檢測分析


4寸探針臺PW-400

參數列表如下 :

項 目

性能指標

備注

可測圓片尺寸

4 inch & 4 inch以下

 

X、Y工作臺

行程

X/Y:4 inch x 4 inch

 

分辨率

1μm

 

控制

進口導軌

 

CHUCK

平面度

≤10μm

背面需要加電極(可選)

晶圓固定方式

真空吸附

Chuck Z軸(可選)

行程

10mm

 

分辨率

1μm

 

Chuck θ軸(可選)

微調范圍

±7 o (分辨率為0.1°)

 

Platen 平臺

材料

非拋光型不銹鋼+特種鋁合金

 

容量

4個DC針座或者2個RF針座

 

上、下片

方式

手動

 

行程

90 mm

 

顯微鏡

配置

體式顯微鏡: 

目鏡:20X 

變倍范圍:0.75X-5X 

總放大倍數:15x-100x 

LED 光源照明

根據客戶測試參數要求而定

屏蔽罩(可選)

L800*W600*H1100mm

 

防震桌(可選)

W*D*H:1100*800*900mm


可選附件:

● 射頻測試探頭及電纜      ● 有源探頭      ● 低電流/電容模塊      ● 高壓模塊         ● 高清數字相機      ● 探針卡/封裝/PCB板夾具      ● Hot Chuck

兼容測試儀器 :

● 各種型號示波器      ● 各種品牌型號的源表      ● 是德B1500、4155、4156      ● 泰克4200      ●各品牌的網絡分析儀 


PW-400 探針臺安裝環(huán)境要求

A 操作環(huán)境要求:

1

環(huán)境溫度:18-28°C

2

相關濕度:20%-60%

3

現(xiàn)場要求:水平地板且足夠承受設備重量

                 較小的機械震動

                 通風良好且無陽光直射

                 靠近電源設備

                 切勿靠近易爆、有毒氣體

B 設備要求:

4

電源

系統(tǒng): 無

配件: ? 220V 交流額定值,50Hz

           ? 真空泵:220V/50HZ, 14W, 0.16A

           ? 空壓機:220V/50HZ,額定電流2.8A,輸出功率580W

           ? CCD:輸入220V/50HZ,額定電流0.31A;輸出12V/1.0A

           ? 顯微鏡光源:220V, 50HZ


5

壓縮空氣

空氣要求

氣壓

流量

連接器外徑

潔凈、干燥、無油(防震臺用)

0.4-0.6 MPa (58-87 psi)

/

6mm

6

真空

/

<400mbar absolute,-610mbar gage

5 l/min(0.18 CFM)at SATP

6mm


C運輸和安裝要求:

7

外形尺寸

物理尺寸(WxDxH)

探針臺:450mm寬*320mm長*458mm高/450mm寬*320mm長*550mm高(含顯微鏡)

屏蔽箱:800mm長*600mm寬*1100mm高

防震桌:1200mm長*800mm寬*800mm高

貨運尺寸(WxDxH)

探針臺及配件貨箱:980 x 840 x 900mm

屏蔽箱貨箱:950 x 750 x 1150mm

防震桌貨箱:1200 x 810 x 720mm

8

重量

探針臺重量

35 kg 

貨運重量(帶包裝)

探針臺及配件貨箱:85 kg 

 屏蔽罩(帶防震臺):150 kg




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